??
【簡介】
通過對集成電路工廠廢水種類、成分和原有廢水處理工藝及原理的分析，以及對廢水處理系統(tǒng)投入運(yùn)行以來在工藝、設(shè)備、控制等方面存在諸多問題的研究，經(jīng)過比較和分析，采用日本富士化水公司開發(fā)的用于處理半導(dǎo)體工業(yè)廢水的專利技術(shù)—— Heldy-F法。并對原有廢水處理工藝進(jìn)行了技術(shù)改造，改造后系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定，出水水質(zhì)達(dá)到國家標(biāo)準(zhǔn)。運(yùn)行成本降低，取得了良好的效果。
