化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的多片式活動電鍍車臺

申請?zhí)枺?00820007088.X

名稱：化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的多片式活動電鍍車臺

公開(公告)號：CN201190181

公開(公告)日：2009.02.04

主分類號：C23C16/00(2006.01)I

申請(專利權(quán))人：吳明鴻

地址：中國臺灣高雄市

發(fā)明(設(shè)計)人：吳明鴻

專利代理機構(gòu)：北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所

代理人：劉新宇

摘要

一種化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的多片式活動電鍍車臺，用以供多個待電鍍基板載設(shè)于上，包括一車架、多個設(shè)置于該車架上的承載座、一設(shè)置于所述承載座上的電極板單元及一蓋設(shè)于該電極板單元上的絕緣頂蓋。通過將該多片式活動電鍍車臺移出該化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的外部事先進行獨立加熱作業(yè)，而能夠使設(shè)置于該多片式活動電鍍車臺上的電極板單元及所述待電鍍基板得到均勻的受熱，并能改善以往在該化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)內(nèi)加熱時具有的受熱不均且加熱緩慢的問題，因此而能達到提高電鍍良率、縮短加熱所需時間以減少整體作業(yè)成本的功效。