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摘要:介紹采用多次電鍍Ni圖形轉(zhuǎn)移工藝將激光干涉法獲得的耦合在光刻膠表面的起伏圖形進行復(fù)制以獲得Ni基圖形轉(zhuǎn)移模板，并進一步將表面起伏圖形復(fù)制到聚苯乙烯薄膜的表面，以獲得具有表面起伏圖形的平面調(diào)制靶。為提高圖形轉(zhuǎn)移的精度、研究電鍍圖形轉(zhuǎn)移工藝和聚苯乙烯薄膜圖形復(fù)制工藝對表面起伏圖形轉(zhuǎn)移精度的影響，以掃描電子顯微鏡對整個圖形轉(zhuǎn)移流程進行監(jiān)控，比較光刻膠表面圖形，一次、二次電鍍轉(zhuǎn)移圖形和轉(zhuǎn)移到聚苯乙烯上圖形的形貌。
