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熱陰極離子鍍技術(shù)制備特種硬質(zhì)薄膜及性能研究

放大字體??縮小字體 發(fā)布日期:2012-10-15??瀏覽次數(shù):454 ??關(guān)注:加關(guān)注
核心提示:摘要:采用熱陰極離子鍍技術(shù)在YG6基體上制備了CrNx薄膜,利用X射線衍射方法、劃痕試驗(yàn)、掃描電鏡觀察對(duì)所制備的試樣進(jìn)行了物相、

摘要:采用熱陰極離子鍍技術(shù)在YG6基體上制備了CrNx薄膜,利用X射線衍射方法、劃痕試驗(yàn)、掃描電鏡觀察對(duì)所制備的試樣進(jìn)行了物相、結(jié)構(gòu)分析和性能測(cè)試。結(jié)果表明:熱陰極離子鍍技術(shù)能夠制備出CrNx薄膜;膜.基結(jié)合強(qiáng)度好;膜層呈致密的柱狀晶;5號(hào)試樣性能最佳。參考5號(hào)試樣工藝在模具表面鍍CrNx薄膜,將鍍層與未鍍層的模具做加工試驗(yàn)對(duì)比,鍍層后能顯著提高模具的壽命。

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