摘 要:介紹了用電鍍法制備Pb/Sn凸點的工藝,包括:凸點的設計,圓片的準備,濺射UBM(凸點下金屬層),厚膜光刻,電鍍Cu柱,Pb/Sn凸點,回流凸點等。結果表明:采用電鍍法可以得到球形Pb/Sn凸點,50μm的厚膠工藝是可行的。
Pb/Sn凸點的制備.pdf