??
【簡(jiǎn)介】
采用O2等離子體及HF溶液對(duì)AIGaN／GaN異質(zhì)結(jié)材料進(jìn)行表面處理后，Ni／Au肖特基接觸特性比未處理有了明顯改善，反向泄漏電流減小3個(gè)數(shù)量級(jí)．對(duì)制備的肖特基接觸進(jìn)行200-600℃ 5min的N2氣氛退火，發(fā)現(xiàn)退火冷卻后肖特基反向泄漏電流隨退火溫度增大進(jìn)一步減小．N2 氣中600℃退火后肖特基二極管C-V特性曲線在不同頻率下一致性變好，這表明退火中Ni向材料表面擴(kuò)散減小了表面陷阱密度；C-V特性曲線隨退火溫度增大向右移動(dòng)，從二維電子氣耗盡電壓絕對(duì)值減小反映了肖特基勢(shì)壘的提高．
