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【專利號(hào)(申請(qǐng)?zhí)?】200410096916.8
【公開(公告)號(hào)】CN1786800
【申請(qǐng)人(專利權(quán))】臺(tái)灣薄膜電晶體液晶顯示器產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì);中華映管股份有限公司;友達(dá)光電股份有限公司;廣
【申請(qǐng)日期】2004-12-6 0:00:00
【公開(公告)日】2006-6-14 0:00:00
本發(fā)明公開了一種薄膜晶體管印刷制程方法，步驟包括定義印刷圖樣于一晶種材料、光刻膠材料、固化材料，并進(jìn)行浸置基板于溶液的化學(xué)無(wú)電電鍍納米金屬方法，再將金屬離子還原成并沉積金屬材料，于基板上形成金屬配線。利用印刷方式結(jié)合納米金屬材料制備薄膜晶體管 (TFT)中低阻抗閘極(gate)金屬薄膜與漏極(drain)、源極(source) 電極薄膜，主要應(yīng)用于大面積連續(xù)印刷制程制作平面顯示器，可在常壓低溫下制備電氣性質(zhì)良好的閘極、漏極與源極金屬薄膜，可大幅降低材料與制程設(shè)備成本，并可用于連續(xù)印刷涂布制作大面積可撓式面板。
