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【專利號(申請?zhí)?】200410001884.9
【公開(公告)號】CN1558447
【申請人(專利權(quán))】友達(dá)光電股份有限公司
【申請日期】2004-1-15 0:00:00
【公開(公告)日】2004-12-29 0:00:00
本發(fā)明公開了一種薄膜晶體管的制造方法，包括下列步驟：首先，提供一基板，并無電鍍一柵極層于基板上。其后，圖形化柵極層以形成一柵極，并電鍍一金屬層于柵極上。陽極氧化金屬層以形成一柵極介電層，其后以一化學(xué)沉積法形成一半導(dǎo)體層于柵極介電層及基板上。
