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【專利號(申請?zhí)?】CN03100735.X
【公開(公告)號】CN1517802
【申請人(專利權)】三星電子株式會社
【申請日期】2003-1-16 0:00:00
【公開(公告)日】2004-8-4 0:00:00
本發(fā)明涉及用于光致抗蝕劑的TFT-LCD高性能剝離劑組合物，并且更具體地是涉及用于抗蝕劑的剝離劑組合物，包含20％至60％重量的單乙醇胺、15％至50％重量的N，N-二甲基乙酰胺、15％至50％重量的卡必醇以及0.1％至10％重量的沒食子酸。本發(fā)明還提供了用于光致抗蝕劑的剝離劑組合物，包含20％至60％重量的單乙醇胺、15％至50％重量的N，N-二甲基乙酰胺、15％至50％重量的卡必醇。本發(fā)明的用于光致抗蝕劑的剝離劑組合物在應用于TFT-LCD生產(chǎn)過程時，顯著地降低了剝離時間。而且其因為具有良好的剝離能力也不會留下雜質顆粒，并且因為能夠省略硬焙烤和磨光過程，所以能夠簡化門處理，降低了成本。此外，當其應用在使用銀(Ag)作為反射/透射層的過程時，提供了純銀層的耐腐蝕能力和剝離能力。
【主權項】
1.用于光致抗蝕劑的剝離劑組合物，包含 (a)20％至60％重量的單乙醇胺； (b)15％至50％重量的N，N-二甲基乙酰胺； (c)15％至50％重量的卡必醇；和 (d)0.1％至10％重量的沒食子酸。
