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光化學(xué)圖像轉(zhuǎn)移技術(shù):光致抗蝕劑膜層的主要成分及作用

放大字體??縮小字體 發(fā)布日期:2011-09-22??瀏覽次數(shù):316 ??關(guān)注:加關(guān)注
核心提示:光化學(xué)圖像轉(zhuǎn)移技術(shù):光致抗蝕劑膜層的主要成分及作用

    以下主要介紹全水溶性干膜。

    (1)黏結(jié)劑

    它是光致抗蝕劑的成膜樹(shù)脂,使感光膠各組分黏結(jié)成膜,它起抗蝕劑的骨架作用。在光致聚合反應(yīng)中,它不會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。

    該物質(zhì)具有較好的成膜性;與干膜抗蝕劑的其他組分有良好的互溶性;對(duì)加工基材金屬表面有很好的附著力;在堿性水溶液中能很方便地從基材表面去除。

    通常黏結(jié)劑是酯化或酰胺化的聚苯丁樹(shù)脂,即聚苯乙烯一順丁烯二酸酐樹(shù)脂。

    (2)光聚合單體

    光致抗蝕劑膠膜的主要組分就是光聚合單體。它在光引發(fā)劑存在時(shí),在紫外線照射下發(fā)生聚合反應(yīng),生成體型聚合物。不溶于顯影液的是感光部分,從而形成抗蝕圖像。被廣泛應(yīng)用的光聚合單體是多元醇烯酸酯類以及甲基丙烯酸酯類。

    (3)光引發(fā)劑

    在紫外線照射下,光引發(fā)劑吸收紫外線的能量,促進(jìn)光聚合單體交聯(lián)。通常使用安息香醚、叔丁基蒽醌作光引發(fā)劑,用于干膜光致抗蝕劑。

    (4)增塑劑

    三乙二醇雙醋酸酯作為干膜增塑劑,可增加干膜的均勻性和柔韌性。

    (5)增黏劑

    苯并三氮唑的加入可增加干膜抗蝕劑與金屬銅表面的化學(xué)結(jié)合力,防止膠膜黏結(jié)不牢固而出現(xiàn)起翹現(xiàn)象,造成滲鍍等故障。

    (6)熱阻聚劑

    為阻止熱能對(duì)干膜的聚合作用而加入熱阻聚劑,使得干膜在生產(chǎn)和應(yīng)用過(guò)程中能有效接受熱能。

    (7)色料

    為方便修版和檢驗(yàn)工作加入一些孔雀石綠等色料,以使干膜顏色鮮艷。

    (8)溶劑

    通常采用乙醇或丙酮來(lái)溶解干膜抗蝕劑的各種成分。

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