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國內(nèi)外硅片拋光液的種類磨料及現(xiàn)狀

放大字體??縮小字體 發(fā)布日期:2009-09-04??瀏覽次數(shù):569 ??關(guān)注:加關(guān)注
核心提示:國內(nèi)外硅片拋光液的種類磨料及現(xiàn)狀

拋光液,以其優(yōu)越的性能、可靠的品質(zhì),贏得了廣大用戶的信賴,使用戶獲得最合理的拋光工藝、最優(yōu)的拋光質(zhì)量和最佳的效率。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于汽車、摩托車、航空、發(fā)動機、壓縮機、內(nèi)燃機、紡織機械、鋁型材、鋅鋁鑄件、非鐵金屬鑄件、不銹鋼精密鑄件本產(chǎn)品能提高磨削效率,減少磨具的磨損。對工件有保護及潤滑作用,提高工件表面光潔度和光亮度。根據(jù)各種材質(zhì)的工件滾拋需要,研制成不同的磨液,供用戶自行選擇。

1965年美國孟山都公司在世界上首先提出了二氧化硅溶膠和凝膠應(yīng)用于硅晶圓片的拋光加工的專利。從此,半導(dǎo)體用拋光液(slurry)成為了半導(dǎo)體制造中的重要的、必不缺少的輔助材料。半導(dǎo)體硅片拋光工藝是銜接材料與器件制備的邊沿工藝,它極大地影響著材料和器件的成品率,并肩負消除前加工表面損傷沾污以及控制誘生二次缺陷和雜質(zhì)的雙重任務(wù)。在特定的拋光設(shè)備條件下,硅片拋光效果取決于拋光劑及其拋光工藝技術(shù)。隨著集成電路的集成度的不斷提高,相應(yīng)的要求亦有所提高,不但直徑要增大,技術(shù)要求也相應(yīng)地提高,并不斷有新的要求出現(xiàn)。

采用SiO2拋光液進行硅片拋光加工,目前多采用化學(xué)機械拋光(CMP)技術(shù)。拋光工藝中有粗拋光和精拋光之分,故有粗拋光液和精拋光液品種之分。預(yù)計在2005-2010年期間,在我國半導(dǎo)體拋光片業(yè)內(nèi)整體需求拋光液量,每年會以平均增長率為25%比率的增長。2004年間使用SiO2拋光液總共約是157噸。其中粗拋液有約126,精拋液有約31.5噸。

目前在我國半導(dǎo)體硅拋光片加工中,所使用的拋光液絕大多數(shù)都靠進口。國外半導(dǎo)體硅拋光液的市場占有率較高生產(chǎn)廠家,主要有美國Rodel&OndenNalco、美國的DUPONT公司、日本FUJIMI公司等。盡管我國目前在拋光液行業(yè)現(xiàn)已發(fā)展到有幾十家的企業(yè),但是真正涉足到半導(dǎo)體硅片拋光液制造、研發(fā)方面的企業(yè)很少。無論是產(chǎn)品質(zhì)量上、還是在市場占有率方面,國內(nèi)企業(yè)都表現(xiàn)出與國外廠家具有相當(dāng)?shù)牟罹唷?SPAN lang=EN-US>

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