一種由聚甲基硅氧烷制備SiO2薄膜的簡易方法

摘要：本文報道一種由聚甲基硅氧烷制備SiO₂薄膜的簡易方法。以甲基三乙氧基硅烷為起始物，經(jīng)水解和縮聚反應(yīng)合成聚甲基硅氧烷(MeSiO1.5)n，在有機溶劑中配制成旋涂液后，經(jīng)旋轉(zhuǎn)涂覆（spin-coating）和熱固成型制備了SiO₂薄膜。采用FT-IR、TGA、GPC對聚甲基硅氧烷及薄膜進行了結(jié)構(gòu)表征。分析了聚甲基硅氧烷旋涂液的濃度、黏度及勻膠機的轉(zhuǎn)速和時間對涂膜效果的影響。并用場發(fā)射SEM對所得的薄膜進行了分析。結(jié)果表明：薄膜堅固、耐熱、致密高，在納米尺度范圍未出現(xiàn)裂縫和氣孔。固可作為多孔SiO₂薄膜的基材。

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