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加載控制模式對電沉積鎳薄膜力學性能測試的影響

放大字體??縮小字體 發(fā)布日期:2012-09-11??瀏覽次數(shù):451 ??關注:加關注
核心提示:摘要:為研究深度和載荷2種加載控制模式對樣品硬度和楊氏模量測試結(jié)果的影響,選取了厚度為6m的電沉積鎳薄膜為樣品,采用美國Hysit

摘要:為研究深度和載荷2種加載控制模式對樣品硬度和楊氏模量測試結(jié)果的影響,選取了厚度為6μm的電沉積鎳薄膜為樣品,采用美國Hysitron公司生產(chǎn)的TriboIndenter型壓痕儀進行壓痕試驗.結(jié)果表明:因薄膜和基底2種材料的性能相差較大,隨著壓痕深度的增加,基底效應越來越明顯;載荷控制模式下所測的硬度和楊氏模量較深度控制模式的都要大,且兩性能參數(shù)中因應力松弛效應的影響硬度差別更為明顯.

   加載控制模式對電沉積鎳薄膜力學性能測試的影響.pdf
 

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