金屬硒化物電沉積動力學(xué)模型的建立及應(yīng)用 (Ⅰ)

摘要： 基于動力學(xué)基本原理, 通過對電沉積過程進(jìn)行合理假設(shè), 建立了具有普遍意義, 可實(shí)現(xiàn)薄膜成分預(yù)測的金屬硒化物電沉積動力學(xué)模型--結(jié)點(diǎn)選擇模型, 并將其應(yīng)用于Sb-Se二元體系中電沉積薄膜的成分預(yù)測與動力學(xué)行為分析. 模型實(shí)現(xiàn)了不同主鹽濃度比條件下電沉積Sb2Se3薄膜中原子摩爾比的預(yù)測. 對于Sb₂Se₃電沉積, 沉積電勢從-0.5 V (vs.SCE) 負(fù)移至-0.6 V (vs.SCE), 或者沉積溫度從25 ℃升至50 ℃, 均可促進(jìn)薄膜中Sb含量的提高; 而加入絡(luò)合劑酒石酸或檸檬酸則將抑制Sb的沉積。

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