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P型Si上Ni—Pd薄膜的電沉積及界面硅化物的研究

放大字體??縮小字體 發(fā)布日期:2012-05-13??瀏覽次數(shù):401 ??關(guān)注:加關(guān)注
核心提示:P型Si上Ni—Pd薄膜的電沉積及界面硅化物的研究

摘 要:采用控電位沉積方式在p-Si上制備了Ni-Pd合金薄膜,考察了陰極沉積行為,研究了電沉積條件對(duì)膜組成的影響,并探討了膜組成與結(jié)構(gòu)的關(guān)系,XRD測(cè)試表明Ni-Pd合金呈面心立方的固溶本結(jié)構(gòu),其晶面間距隨合金組成不同而變化,XPS研究表明,Pd與硅之間存在著較強(qiáng)的常溫?cái)U(kuò)散并形成了硅化物。

P型Si上Ni—Pd薄膜的電沉積及界面硅化物的研究.pdf
 

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