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摘 要:采用電鍍銅箔蝕永不地和圖形電鍍反貼法，研究了雷達工面ＦＳＳ陣圖形制作工藝，解決了液態(tài)光抗蝕油墨的立體涂布、底片分割貼裝、旋轉(zhuǎn)狹縫曝光及蝕刻問題；另外還解決了圖形電鍍、壓模反貼問題。圖形精度分別達到±０．０８ｍｍ和±０．０６ｍｍ，滿足≤±０．１０ｍｍ的圖形公差要求。
摘 要:采用電鍍銅箔蝕永不地和圖形電鍍反貼法，研究了雷達工面ＦＳＳ陣圖形制作工藝，解決了液態(tài)光抗蝕油墨的立體涂布、底片分割貼裝、旋轉(zhuǎn)狹縫曝光及蝕刻問題；另外還解決了圖形電鍍、壓模反貼問題。圖形精度分別達到±０．０８ｍｍ和±０．０６ｍｍ，滿足≤±０．１０ｍｍ的圖形公差要求。
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