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摘 要:隨著器件的關(guān)鍵尺寸(CriticalDimension)愈來愈小及導(dǎo)線層數(shù)的急劇增加，電阻／電容時間延遲(RC Time Delay)將嚴(yán)重影響整體電路的運行速度。為了改善隨著金屬聯(lián)機線寬縮小所造成的時間延遲以及電子遷移可靠性問題，選擇比鋁合金更低的電阻率與更高的抗電子
摘 要:隨著器件的關(guān)鍵尺寸(CriticalDimension)愈來愈小及導(dǎo)線層數(shù)的急劇增加，電阻／電容時間延遲(RC Time Delay)將嚴(yán)重影響整體電路的運行速度。為了改善隨著金屬聯(lián)機線寬縮小所造成的時間延遲以及電子遷移可靠性問題，選擇比鋁合金更低的電阻率與更高的抗電子
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