孔壁空洞簡析

發(fā)布日期：2012-05-10??瀏覽次數(shù)：303 ??關注：加關注

核心提示：孔壁空洞簡析

摘　要:討論了造成孔壁空洞的幾種原因，主要集中在掩膜與孔壁空洞的聯(lián)系。另外還討論了直接電鍍技術在解決孔壁空洞上的應用。[著者文摘]

關鍵詞： 關鍵詞:孔壁空洞掩膜直接電鍍微蝕抗蝕劑

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