摘 要:介紹了集成電路銅互連雙嵌入式工藝和電鍍銅的原理;有機添加劑在電鍍銅中的重要作用及對添加劑含量的監(jiān)測技術;脈沖電鍍和化學電鍍在銅互連技術中的應用;以及銅互連電鍍工藝的發(fā)展動態(tài).
超大規(guī)模集成電路銅互連電鍍工藝.pdf
超大規(guī)模集成電路銅互連電鍍工藝.pdf
??
