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摘 要:闡述了利用電鍍制作磁體微結(jié)構(gòu)的方法，采用這一工藝方法制作了一種基于硅橡膠薄膜（PDMS，polydimethyl siloxane）和CoNiMnP永磁體陣列的雙向微型電磁驅(qū)動器，由振動膜層和線圈層構(gòu)成。微驅(qū)動器中磁體陣列中每一個小磁體塊的尺寸為50μm×50μm×20μm，其矯頑力、剩磁和最大磁能積分別為2623 Oe（208．73kA／m）、0．2T（2000G）和10．15kJ／m^3。[著者文摘]
摘 要:闡述了利用電鍍制作磁體微結(jié)構(gòu)的方法，采用這一工藝方法制作了一種基于硅橡膠薄膜（PDMS，polydimethyl siloxane）和CoNiMnP永磁體陣列的雙向微型電磁驅(qū)動器，由振動膜層和線圈層構(gòu)成。微驅(qū)動器中磁體陣列中每一個小磁體塊的尺寸為50μm×50μm×20μm，其矯頑力、剩磁和最大磁能積分別為2623 Oe（208．73kA／m）、0．2T（2000G）和10．15kJ／m^3。[著者文摘]
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