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摘 要:提出了一種基于硅橡膠薄膜（PDMS，polydimethyl siloxane）和CoNiMnP永磁體陣列的雙向微型電磁驅(qū)動器，由振動膜層和線圈層兩層構(gòu)成。對該驅(qū)動器進行了理論分析與數(shù)值模擬，二者結(jié)果基本一致，振動膜中心最大撓度的分析誤差為7．96％．著重探討了內(nèi)嵌磁體陣列的PDMS振動膜的電鍍工藝，磁體陣列中每一個小磁體塊的尺寸為50μm×50μm×20μm，其矯頑力、剩磁和最大磁能積分別為208．73kA／m，0．2T和10．15kJ／m^2．[著者文摘]
