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【簡介】
利用原子力顯微鏡檢測ITO薄膜的微觀表面形貌以及微觀區(qū)域電性能，研究氧等離子體處理對ITO薄膜的表面形貌及導電性能的影響，從微觀上探討氧等離子體處理對ITO薄膜的影響.經(jīng)過氧等離子體處理，IT0薄膜的平均粗糙度從4．6 nm減小到2．5 nm，薄膜的平整度得到提高；但氧等離子體處理之后，IT0薄膜的導電性能大大下降，原因在于ITO薄膜表面被進一步氧化使得ITO薄膜表面的氧空位減少．上述結果從微觀上解釋了氧等離子體處理能夠改善有機發(fā)光二極管光電性能的原因．
【簡介】
利用原子力顯微鏡檢測ITO薄膜的微觀表面形貌以及微觀區(qū)域電性能，研究氧等離子體處理對ITO薄膜的表面形貌及導電性能的影響，從微觀上探討氧等離子體處理對ITO薄膜的影響.經(jīng)過氧等離子體處理，IT0薄膜的平均粗糙度從4．6 nm減小到2．5 nm，薄膜的平整度得到提高；但氧等離子體處理之后，IT0薄膜的導電性能大大下降，原因在于ITO薄膜表面被進一步氧化使得ITO薄膜表面的氧空位減少．上述結果從微觀上解釋了氧等離子體處理能夠改善有機發(fā)光二極管光電性能的原因．
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