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【簡介】
微等離子體已成為近年來國際上低溫等離子體研究的熱點課題之一。微等離子體是被限制在一個有限的空間范圍內(nèi)(尺度為毫米量級甚至更低)的等離子體，它通常能夠運行在大氣壓條件下，它的低功耗、高密度、高穩(wěn)定等特性以及其小巧、經(jīng)濟、便攜等優(yōu)勢，為其在紫外光源的獲得、微化學分析系統(tǒng)、生物醫(yī)學、材料表面改性和加工、環(huán)境污染物的處理等領域提供了廣泛的應用空間。文章對微等離子體及其應用進行了綜述，介紹了各種微等離子體源的產(chǎn)生方法，以及它們在不同領域的研究和應用情況。
