【簡介】
報道了一種采用電鍍方法制作活動微結構的犧牲層工藝，該犧牲層技術可用于微電子機械裝置中活動部件的制作。利用電鍍形成Ｚｎ犧牲層，結合微細加工技術中的ＬＩＧＡ工藝對該工藝進行了驗證，制作出可活動的微齒輪結構，齒輪直徑為２５０μｍ。
電鍍法制作活動微結構的犧牲層工藝.pdf
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