硫酸-甲醇體系鎢電解拋光的可行性研究：結(jié)果與討論（六）

【簡介】

6.鎢拋光表面質(zhì)量的表征

    通過上述一系列實(shí)驗(yàn)，確定了硫酸_甲醇體系中鎢電拋光的工藝參數(shù)為：硫酸與甲醇的體積比1：7，電壓15～24 V，溫度15～25℃，攪拌速率10 m／s。在此工藝條件下對金屬鎢進(jìn)行電拋光，拋光后的樣品表面有足夠的光澤，平整、光滑，呈鏡面光亮。評價(jià)電拋光質(zhì)量的指標(biāo)一般為表面反射率和表面粗糙度。

6．1  表面反射率

    拋光前表面只能照出模糊的影子，反射率最高為57％；拋光后呈鏡面光滑，在2 100～2 200 nm范圍內(nèi)反射率高達(dá)99％，如圖6所示。電解拋光大大提高了鎢表面的光澤度。

6．2  表面形貌

    電解拋光前，鎢箔經(jīng)砂紙打磨，表面有明顯的劃痕，易形成不規(guī)則的晶面，可能存在破碎晶粒的變形層；拋光后劃痕消失，表面平整光滑，如圖7所示。

圖6電拋光前后鎢箔的反射率

Figure 6 Reflectance of tungsten foil before and after electropolishing

圖7鎢箔電解拋光前后的掃描電鏡照片

Figure 7 SEM images of tungsten foil before and after electropolishing

6．3  表面粗糙度

    經(jīng)過電拋光，鎢樣品的粗糙度尺R_rms。得到了明顯的改善，由拋光前的119 nm下降到12 nm(如圖8所示)。