超聲波降低電鍍銅薄膜內(nèi)應(yīng)力的方法.pdf

【專利號(申請?zhí)?】200610118667.7

【公開(公告)號】CN1974870

【申請人(專利權(quán))】上海交通大學(xué)

【申請日期】2006-11-23 0:00:00

【公開(公告)日】2007-6-6 0:00:00

       一種材料技術(shù)的超聲波降低電鍍銅薄膜內(nèi)應(yīng)力的方法。本發(fā)明首先配制電鍍?nèi)芤海瑢⑹⒂须婂內(nèi)芤旱?a href="http://www.hdampjb.cn/sell/list/8/" target="_blank">電鍍槽放置于超聲浴槽內(nèi)，控制電鍍?nèi)芤旱臏囟群碗娏髅芏龋ㄟ^改變電鍍時(shí)間得到相應(yīng)厚度的電鍍銅薄膜，其中：控制電鍍?nèi)芤旱臏囟仍?/SPAN>30-35攝氏度之間，電流密度在4-16A/dm²之間。本發(fā)明在不改變原有電鍍銅工藝的基礎(chǔ)上，將電鍍槽放置于超聲浴槽內(nèi)，利用超聲作用降低電鍍銅薄膜的內(nèi)應(yīng)力，利用X射線衍射的方法對不同工藝電鍍銅薄膜的內(nèi)應(yīng)力進(jìn)行測量。結(jié)果顯示，利用超聲技術(shù)可以有效的降低電鍍銅薄膜的內(nèi)應(yīng)力。

超聲波降低電鍍銅薄膜內(nèi)應(yīng)力的方法.pdf