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【專利號(hào)(申請(qǐng)?zhí)?】03146114.X
【公開(公告)號(hào)】CN1479336
【申請(qǐng)人(專利權(quán))】北京工業(yè)大學(xué)
【申請(qǐng)日期】2003-7-23 0:00:00
【公開(公告)日】2004-3-3 0:00:00
一種微型電磁繼電器及其制造方法屬于先進(jìn)制造技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明是基于微機(jī)電系統(tǒng)工藝在硅片上制作的一種單穩(wěn)態(tài)單觸點(diǎn)微電磁繼電器，它由硅基板(19)、勵(lì)磁線圈(8)、繼電器觸點(diǎn)(13)、活動(dòng)銜鐵(16)和硅基板背面的鉻銅薄膜層(5)、鐵鎳合金層(6)等部分組成；主要制造工藝特點(diǎn)是，1)首先從硅片背面開磁芯孔，但不刻蝕透，然后在基板正面上刻蝕出線圈槽；高溫濕氧化后，在基板背面制作磁芯孔和磁路；2)從正面刻蝕透磁芯孔，然后采用濺射、電鍍銅工藝制作勵(lì)磁線圈；3)采用濺射銀和光刻工藝制作繼電器觸點(diǎn)；4)采用電鑄鐵鎳工藝制作活動(dòng)銜鐵。本發(fā)明具有質(zhì)量體積小，生產(chǎn)成本低、可靠性高、繼電器觸點(diǎn)可通過較大電流等特點(diǎn)。
