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【專利號(申請?zhí)?】200410017852.8
【公開(公告)號】CN1564276
【申請人(專利權)】上海交通大學
【申請日期】2004-4-22 0:00:00
【公開(公告)日】2005-1-12 0:00:00
本發(fā)明提供一種微型化磁芯螺線管微電感器件及其制備方法，微電感器件主要由襯底，引腳，線圈、磁芯組成，矩形或環(huán)形閉合的磁芯上對稱繞制兩組相連的三維立體螺線管線圈，線圈及引腳設置在襯底平面上。線圈由底層線圈和頂層線圈通過連接導體連接形成，底層線圈、頂層線圈及連接導體通過聚酰亞胺絕緣材料和磁芯隔開，線圈與線圈之間通過聚酰亞胺絕緣材料隔開。制造過程中采用了如下工藝處理：將硅片進行處理，得到雙面套刻對準符號，采用物理刻蝕種子層技術，采用拋光技術以及二次電鍍方法，得到連接導體。本發(fā)明解決了線圈的立體繞線和層間的絕緣問題及高深寬比的電鍍問題，使得電感性能大大提高。
