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【專(zhuān)利號(hào)(申請(qǐng)?zhí)?】200410017853.2
【公開(kāi)(公告)號(hào)】CN1564280
【申請(qǐng)人(專(zhuān)利權(quán))】上海交通大學(xué)
【申請(qǐng)日期】2004-4-22 0:00:00
【公開(kāi)(公告)日】2005-1-12 0:00:00
本發(fā)明提供一種微機(jī)電系統(tǒng)磁芯螺線管微電感器件的制備方法，利用微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)，對(duì)雙面氧化的硅片進(jìn)行處理，得到雙面套刻對(duì)準(zhǔn)符號(hào)，以便曝光時(shí)提高對(duì)準(zhǔn)精度，采用物理刻蝕技術(shù)去種子層，采用一次電鍍連接導(dǎo)體，制備出的微電感器件主要由襯底，引腳，線圈、磁芯組成，矩形或環(huán)形閉合的磁芯上對(duì)稱(chēng)繞制兩組相連的三維立體螺線管線圈，線圈由底層線圈和頂層線圈通過(guò)連接導(dǎo)體連接形成，底層線圈、頂層線圈及連接導(dǎo)體通過(guò)聚酰亞胺絕緣材料和磁芯隔開(kāi)。本發(fā)明方法避免了濕法刻蝕工藝帶來(lái)的鉆蝕現(xiàn)象，解決了線圈的立體繞線和層間的絕緣問(wèn)題及高深寬比的電鍍問(wèn)題，使得微電感器件的電感性能大大提高。
