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2014-05-21 15:00MEMS制造具有的特點
2012-05-11 10:06Electrochemical behavior of Cu-Zn-Al shape memory alloy after surface modification by electroless pl
2012-05-11 04:13應用于MEMS的單晶硅上無電鍍銅、鍍鎳工藝
2012-05-10 20:52MEMS中的簿膜制造技術
2012-05-10 20:08金屬三維微結構加工技術的研究
2012-05-10 16:02一種新型基于MEMS的同位素微電池的研究
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2012-05-09 11:41RF MEMS開關工藝技術研究
2012-05-09 08:55RF MEMS開關的工藝制備
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2011-03-02 15:21RF MEMS開關的工藝制備.pdf
2009-10-26 09:21MEMS中的簿膜制造技術.pdf
2008-10-07 15:11應用于MEMS的單晶硅上無電鍍銅、鍍鎳工藝.pdf
2008-08-11 09:12一種新型基于MEMS的同位素微電池的研究.pdf
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