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亞硫酸鹽/硫代硫酸鹽體系無氰鍍銅:結果與討論(四)

放大字體??縮小字體 發(fā)布日期:2011-06-30??瀏覽次數(shù):181 ??關注:加關注
核心提示:亞硫酸鹽/硫代硫酸鹽體系無氰鍍銅:結果與討論(四)

4.銅鍍層的結構與形貌

 

    3ab分別為鍍液中無光亮劑和含004 mLL光亮劑時所得銅鍍層的XRD譜。無光亮劑時,鍍銅層呈面心立方結構,出現(xiàn)(111)(200)(220)(311)晶面衍射峰,說明此時銅鍍層為多晶結構。XRD譜中未見一價銅化合物(如氯化亞銅、氧化亞銅等)的衍射峰,說明鍍層純度較高。鍍液中加入004 nlLL光亮劑后,銅層晶面結構改變,僅出現(xiàn)(111)(200)晶面衍射峰,且衍射強度比無光亮劑時高得多,分別從534×103 S-1363×103 S-1叫提高至3107×103 S-1101Ol×103 S-1,表明添加劑不僅阻礙銅的電沉積,而且影響銅電結晶過程晶面的生長。

 

3銅鍍層的x射線衍射譜

Figure 3 X-ray diffraction patterns of copper deposits

 

    實驗證明,在本工藝中,銅電沉積層具有極好的韌性。鍍覆于不銹鋼表面的銅鍍層剝離后,經(jīng)360。反復折疊也不易斷裂。在無光亮劑和含004 mLL光亮劑的鍍液中制備的銅鍍層的表面形貌分別示于圖4ab。結果表明,鍍層晶粒非常細小。無光亮劑時,鍍層呈現(xiàn)條帶狀,整平性較差;加入光亮劑后,鍍層更加光亮,晶粒更加細小、致密和平整,顆粒分布均勻。

 

4  銅鍍層的掃描電鏡照片

Figure 4 SEM images of copper deposits

 

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