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酸性氯化銅蝕刻液配方見下表。
表 酸性氯化銅蝕刻蝕液配方
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成分 |
配方l |
配方2 |
配方3 |
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氯化銅／(g／L) |
130～l90 |
200 |
150～400 |
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氯化鈉／(g／L) |
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100～200 |
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氯化銨／(g／L) |
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加至飽和狀態(tài) |
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鹽酸／(mL／L) |
150～180 |
100 |
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水 |
加至lL |
加至lL |
加至lL |
蝕刻液中影響蝕刻速率的主要因素有溶液中Cl-、Cu+的含量以及蝕刻液的溫度和Cu2+的濃度。
