用于微孔填充的化學(xué)鍍銅溶液

專利名稱：用于微孔填充的化學(xué)鍍銅溶液

專利號：201110209943

專利申請人：陜西師范大學(xué)

一種用于微孔填充的化學(xué)鍍銅溶液，1L該化學(xué)鍍銅溶液含有五水硫酸銅5～20g、乙二胺四乙酸二鈉10～50g、甲醛或乙醛酸1.0～1.5g、含巰基雜環(huán)化合物0.001～0.02g、平均分子量為3650的聚醚0.02～0.04g、NaOH?1.5～3.5g，余量為蒸餾水，所述含巰基雜環(huán)化合物為2-巰基苯并咪唑、2-巰基苯并噁唑、1-苯基-5-巰基-四氮唑或2-巰基苯并噻唑。本發(fā)明通過在化學(xué)鍍銅溶液中同時添加含巰基雜環(huán)化合物和平均分子量為3650的聚醚，實現(xiàn)了微孔的無空洞、無縫隙、完美的化學(xué)銅填充，且化學(xué)鍍銅溶液穩(wěn)定，沉積銅膜質(zhì)量好。