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(12)發(fā)明專利申請
(10)申請公布號 CN 102517567 A (43)申請公布日2012.06.27
(21)申請?zhí)?201210000476. 6
(22)申請日 2012. 01. 04
(71)申請人蘇州日本電波工業(yè)有限公司 地址215011江蘇省蘇州市新區(qū)竹園路20號
(72)發(fā)明人李少強(qiáng) 王蘇琴 陸小平
(74)專利代理機(jī)構(gòu)南京正聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限 公司32243
代理人顧伯興
(51) Int. Cl.
C23C 18/04(2006.01)
B08B 3/12(2006. 01)
權(quán)利要求書1頁說明書2頁附圖2頁
(54)發(fā)明名稱
一種水晶片預(yù)鍍銀清洗工藝
(57)摘要
本發(fā)明涉及一種水晶片預(yù)鍍銀清洗工藝，其 特征在于：所述清洗工藝包括晶片入框、清洗、干 燥和鍍銀，其中，所述晶片入框是鍍銀框，將需要 在表面鍍銀的水晶片放入鍍銀框內(nèi);所述清洗包 括順序操作流程的超聲波清洗、純水噴淋清洗和 純水超聲波洗凈，去除水晶片外表面上的油污及 氧化膜，避免造成拋光面的擦洗紋路。本發(fā)明清洗 工藝采用超聲波清洗、純水噴淋清洗和純水超聲 波清洗的方法，代替原有清洗工藝中采用溶劑型 清洗劑和酸堿性清洗劑的傳統(tǒng)清洗工藝，節(jié)省了 大量的清洗時間，提高了工作效率，降低了人工成 本。
1.一種水晶片預(yù)鍍銀清洗工藝，其特征在于：所述清洗工藝包括晶片入框、清洗、干燥 和鍍銀，其中，所述晶片入框是鍍銀框，將需要在表面鍍銀的水晶片放入鍍銀框內(nèi);所述清 洗包括順序操作流程的超聲波清洗、純水噴淋清洗和純水超聲波洗凈，去除水晶片外表面 上的油污及氧化膜;所述干燥是將清洗后的水晶片放入干燥機(jī)內(nèi)干燥，提高水晶片外表面 成分的穩(wěn)定性，最后在水晶片表面進(jìn)行鍍銀。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水晶片預(yù)鍍銀清洗工藝，其特征在于：所述清洗過程中采用 的純水的純度高于10兆歐。
—種水晶片預(yù)鍍銀清洗工藝
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明涉及一種清洗工藝，尤其是涉及一種水晶片鍍銀前對其進(jìn)行清洗的水晶片 預(yù)鍍銀清洗工藝。
背景技術(shù)
[0002] 在很長一段時間內(nèi)人們都認(rèn)為所有的引腳元件最終都可采用水晶片封裝;用于封 裝的水晶片在使用前需要在表面鍍銀，鍍銀前需要對水晶片表面的油污、氧化膜進(jìn)行清洗， 這清洗工序直接影響鍍銀層與基體金屬的結(jié)合強(qiáng)度，所以在鍍銀前需要徹底除盡水晶片表 面的油污及氧化膜。
[0003] 傳統(tǒng)的水晶片表面鍍銀前進(jìn)行的清洗工序如圖3所示，包括：晶片入框、清洗、干 燥、翻轉(zhuǎn)和鍍銀，其中，晶片入框是將水晶片放入清洗框內(nèi)，采用的清洗工序如圖4所示， 包括順序流程的九個工序：IPA超音波、熱流水清洗、常溫硫酸清洗、熱硫酸清洗、熱流水清 洗、腐蝕前純水置換、腐蝕、純水置換和流純水超音波，在具體的實際操作中，對水晶片進(jìn)行 清洗的九個工序中，每個工序需要二十分鐘的清洗時間，且工序繁瑣，并且，采用上述清洗 工藝中的酸堿溶液清洗會造成拋光面的擦洗紋路，造成拋光面失光，且很大程度上影響鍍 層的結(jié)合力，硫酸以及腐蝕工藝的重復(fù)使用導(dǎo)致鍍銀后會產(chǎn)生細(xì)微的麻點;在清洗后，需要 對水晶片表面鍍銀時還需要將清洗的水晶片進(jìn)行翻轉(zhuǎn)，在實際操作中翻轉(zhuǎn)需要長期的熟練 工人操作，而且會對水晶片造成二次污染，很大程度上增加了清洗成本。
發(fā)明內(nèi)容
[0004] 本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種解決原有傳統(tǒng)清洗下序中存在的諸多缺 點，并縮短清洗工序、提高工作效率、降低清洗成本的水晶片預(yù)鍍銀清洗工藝。
[0005] 本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采取的技術(shù)方案是：一種水晶片預(yù)鍍銀清洗工藝，所述 清洗工藝包括晶片入框、清洗、干燥和鍍銀，其中，所述晶片入框是鍍銀框，將需要在表面鍍 銀的水晶片放入鍍銀框內(nèi);所述清洗包括順序操作流程的超聲波清洗、純水噴淋清洗和純 水超聲波洗凈，去除水晶片外表面上的油污及氧化膜;所述干燥是將清洗后的水晶片放入 干燥機(jī)內(nèi)干燥，提高水晶片外表面成分的穩(wěn)定性，最后在水晶片表面進(jìn)行鍍銀。
[0006] 進(jìn)一步的，所述清洗過程中采用的純水的純度高于10兆歐，利用風(fēng)刀切水，再利 用純凈的熱風(fēng)進(jìn)行對水晶片表面的干燥，避免由于部分水晶片表面留有的水潰產(chǎn)生粘合的 情況。
[0007] 本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明清洗工藝采用超聲波清洗、純水噴淋清洗和純水超 聲波清洗的方法，代替原有清洗工藝中采用溶劑型清洗劑和酸堿性清洗劑的傳統(tǒng)清洗工 藝，清洗裝置由原來的22臺縮減到5臺即可達(dá)到清洗效率，同時人員調(diào)配上，由原來的219 人縮減到144人，即可完成預(yù)鍍銀前部的清洗工序，節(jié)省了大量的清洗時間，提高了工作效 率，降低了人工成本;同時，在預(yù)鍍銀前節(jié)省了翻轉(zhuǎn)水晶片的工序，避免了人工的二次污染。
[0008] 圖1是本發(fā)明工藝流程示意圖;
圖2是本發(fā)明中清洗工藝內(nèi)示意圖;
圖3是原有預(yù)鍍銀清洗工藝示意圖;
圖4是圖3中清洗工藝內(nèi)示意圖。
具體實施方式
[0009] 如圖1和圖2所示一種水晶片預(yù)鍍銀清洗工藝，所述清洗工藝包括晶片入框、清 洗、干燥和鍍銀，其中，所述晶片入框是鍍銀框，將需要在表面鍍銀的水晶片放入鍍銀框內(nèi); 所述清洗包括順序操作流程的超聲波清洗、純水噴淋清洗和純水超聲波洗凈，去除水晶片 外表面上的油污及氧化膜，先利用超聲波清洗設(shè)備進(jìn)行前期外表面清洗，之后利用純度為 10兆歐以上的純水對其表面進(jìn)行噴淋，最后再由純水超聲波清洗，保證水晶片表面的清潔 度;所述干燥是將清洗后的水晶片放入干燥機(jī)內(nèi)干燥，提高水晶片外表面成分的穩(wěn)定性，最 后在水晶片表面進(jìn)行鍍銀。
[0010] 進(jìn)一步的，所述清洗過程中采用的純水的純度高于10兆歐，利用風(fēng)刀切水，再利 用純凈的熱風(fēng)進(jìn)行對水晶片表面的干燥，避免由于部分水晶片表面留有的水潰產(chǎn)生粘合的 情況。
[0011] 本發(fā)明清洗工藝采用超聲波清洗、純水噴淋清洗和純水超聲波清洗的方法，代替 原有清洗工藝中采用溶劑型清洗劑和酸堿性清洗劑的傳統(tǒng)清洗工藝，避免在取出水晶片表 面油污以及氧化膜的同時對其表面造成擦洗問路的問題，清洗裝置由原來的22臺縮減到5 臺即可達(dá)到清洗效率，同時人員調(diào)配上，由原來的219人縮減到144人，即可完成預(yù)鍍銀前 部的清洗工序，節(jié)省了大量的清洗時間，提高了工作效率，降低了人工成本;同時，在預(yù)鍍銀 前節(jié)省了翻轉(zhuǎn)水晶片的工序，避免了人工的二次污染。
