公開日 20071025
發(fā)明人 MICHELET D
受讓人 Technologies Moleculaires
用于電鍍銅的電解質(zhì)溶液,其中含有一種作為緩蝕劑的聚亞烴基雙胍鹽。聚亞烴基雙胍鹽的緩蝕作用取決于銅表面上加速劑的濃度。在陰極與電解質(zhì)接觸的過程中,聚亞烴基雙胍鹽的表面活性使其立即從電解質(zhì)/空氣界面轉(zhuǎn)移到電解質(zhì)/銅界面。本發(fā)明所給出的電解質(zhì)溶液適合用于獲得平整、光亮的鍍層,以及在具有微米尺度凹陷的表面鍍銅(在微電子中很有用)。