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摘要：本文針對液浮陀螺儀懸浮液的應用環(huán)境，設計出Al/Al2O3/Cu測控溫材料。并采用陽極氧化的方法在草酸與冰乙酸的電解液中制備了陽極氧化膜絕緣層，采用磁控濺射的方法制備了溫度敏感層。利用SEM、AFM、光學顯微鏡等研究了陽極氧化膜和銅膜的表面形貌，采用絕緣電阻測試儀對陽極氧化膜的絕緣性能進行測試。研究結(jié)果表明，陽極氧化工藝對陽極氧化膜的絕緣性能以及熱處理過程中的開裂行為都有一定影響。電流密度為1.0~1.5A/dm2，冰乙酸濃度為0.1~0.3mol/L，陽極氧化時間在30min~60min條件下制備的氧化膜絕緣性能和抗開裂性能滿足Al/Al2O3/Cu絕緣層要求。以該氧化膜為襯底制備銅膜刻蝕后可得到連續(xù)的電阻條。
