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【簡介】
采用化學鍍的方法解決電真空器件封接中的石英玻璃表面金屬化問題。利用金相顯微分析、XRD、SEM 和EDS 等分析手段,系統(tǒng)研究了化學鍍前處理工藝和鍍液成分、p H 值以及溫度、施鍍時間等工藝參數(shù)對鍍速和鍍層質量的影響規(guī)律。結果表明:較好的石英玻璃鍍前處理工藝流程為:清洗→除油→粗化→熱處理→敏化→活化→熱處理。施鍍工藝中,對化學鍍鍍速影響大小的順序依次為:溫度、鎳磷比、檸檬酸鈉濃度、p H 值,且各因素對鍍速影響規(guī)律不同。推薦較好的施鍍工藝為:28g/ L 硫酸鎳,26g/ L 次亞磷酸鈉, 30g/ L 檸檬酸鈉, 15g/ L 乙酸鈉, 0. 001g/ LPbCl2 ,溫度為70 ℃,p H 值為5. 0 。
