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【專利號(hào)(申請(qǐng)?zhí)?】01131354.4
【公開(公告)號(hào)】CN1408548
【申請(qǐng)人(專利權(quán))】飛赫科技股份有限公司
【申請(qǐng)日期】2001-9-28 0:00:00
【公開(公告)日】2003-4-9 0:00:00
一種壓電式噴墨打印頭，是以一具有凹槽的金屬層取代公知的以陶瓷所形成的振動(dòng)層及墨腔層，避免在高溫?zé)Y(jié)時(shí)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)容易發(fā)生應(yīng)力破壞的現(xiàn)象。其制造方法是以電鍍及微影蝕刻的方式，形成一具有凹槽的金屬層于一基底之上，此金屬層具有第一面及對(duì)應(yīng)的第二面及至少一凹槽，其中基底位于金屬層的第一面之上，而凹槽則凹陷于金屬層的第二面，再移除基底，并依次形成一下電極層及一圖案化的壓電層及上電極層于金屬層的第一面之上，接著貼合一噴孔片于金屬層的第二面之上，而與凹槽構(gòu)成一墨水腔，其中噴孔片具有至少一噴孔，其與墨水腔相通。
