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三維周期性結(jié)構(gòu)及其制造方法.pdf

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【專(zhuān)利號(hào)(申請(qǐng)?zhí)?】03806645.9

【公開(kāi)(公告)號(hào)】2003.05.27

【申請(qǐng)人(專(zhuān)利權(quán))】株式會(huì)社村田制作所

【申請(qǐng)日期】2003-5-27 0:00:00

【公開(kāi)(公告)日】2005-7-20 0:00:00

提供一種三維周期性結(jié)構(gòu),包含具有不同介電常數(shù)的兩種物質(zhì),具有高對(duì)比介電常數(shù)或折射率,它們周期性地分布在三維空間內(nèi)。通過(guò)立體平版印刷法形成具有氣孔的單位晶胞底層,其重復(fù)把光照射在要形成的剖面圖案每層內(nèi)的光硬化樹(shù)脂,例如光敏環(huán)氧樹(shù)酯的液體表面上的步驟。然后,通過(guò)無(wú)電電鍍法在單位晶胞底層表面上形成由例如銅構(gòu)成的導(dǎo)電薄膜。因此,獲得一種三維周期性結(jié)構(gòu),其包含具有不同介電常數(shù)的兩種物質(zhì),即樹(shù)脂和空氣,它們周期性地分布在三維空間內(nèi),并且包含形成在兩種物質(zhì)之間的界面上的導(dǎo)電薄膜。

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