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【專利號(hào)(申請(qǐng)?zhí)?】200310116297.X
【公開(公告)號(hào)】CN1619759
【申請(qǐng)人(專利權(quán))】釜山科技園財(cái)團(tuán)法人;禪才高科技株式會(huì)社
【申請(qǐng)日期】2003-11-17 0:00:00
【公開(公告)日】2005-5-25 0:00:00
本發(fā)明是利用軟X射線輻射空氣生成正負(fù)離子來中和存在于液晶、半導(dǎo)體晶片等表面靜電的防靜電裝置及其軟X射線管的制作方法。本發(fā)明的防靜電裝置包括直接離子化氣體分子的防靜電的頭部，包圍上述頭部保護(hù)操作者不受放射線輻射的保護(hù)部，用來產(chǎn)生控制軟X射線管的離子生成的燈絲電流和靶電壓的電源控制部，發(fā)生高能量軟X射線的軟X射線管。所述軟X射線管的主要制造步驟為：首先生成陶瓷管金屬噴涂膜；再在鈹窗口板上涂陽極物質(zhì)；在鈹窗口上電鍍鎢；使用專用真空爐進(jìn)行高真空銅焊等。本發(fā)明可以用于中和可燃性粉末所帶的靜電，緩和在液晶、等離子、半導(dǎo)體制造工程里發(fā)生的靜電，降低靜電引起的灰塵附著與晶格損壞和靜電點(diǎn)燃引起的火災(zāi)和事故率。
