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【專(zhuān)利號(hào)(申請(qǐng)?zhí)?】200510029318.3
【公開(kāi)(公告)號(hào)】CN1767098
【申請(qǐng)人(專(zhuān)利權(quán))】上海交通大學(xué)
【申請(qǐng)日期】2005-9-1 0:00:00
【公開(kāi)(公告)日】2006-5-3 0:00:00
一種微電子技術(shù)領(lǐng)域的基于微機(jī)電系統(tǒng)的射頻螺線(xiàn)管微電感的制作方法，采用微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)，對(duì)清洗干凈的玻璃襯底進(jìn)行處理，得到雙面套刻對(duì)準(zhǔn)符號(hào)，以便曝光時(shí)提高對(duì)準(zhǔn)精度；采用準(zhǔn)-LIGA技術(shù)和厚光刻膠工藝制備線(xiàn)圈和連接導(dǎo)體的光刻膠模具；采用電鍍工藝解決線(xiàn)圈繞線(xiàn)和連接導(dǎo)體；采用聚酰亞胺材料做絕緣層和拋光技術(shù)解決襯底的平整性；采用物理方法去除電鍍用的導(dǎo)體，避免濕法刻蝕工藝帶來(lái)的鉆蝕現(xiàn)象。本發(fā)明解決了螺線(xiàn)管線(xiàn)圈的立體繞線(xiàn)及高深寬比的電鍍問(wèn)題，使得微電感的射頻性能大大提高，具有廣泛的用途。
