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【專(zhuān)利號(hào)(申請(qǐng)?zhí)?】200310122738.7
【公開(kāi)(公告)號(hào)】CN1555107
【申請(qǐng)人(專(zhuān)利權(quán))】上海交通大學(xué)
【申請(qǐng)日期】2003-12-19 0:00:00
【公開(kāi)(公告)日】2004-12-15 0:00:00
一種基于微機(jī)電系統(tǒng)的倒置微帶傳輸線(xiàn)及其制造方法。屬于通信技術(shù)領(lǐng)域。倒置微帶傳輸線(xiàn)包括：介質(zhì)襯底、信號(hào)線(xiàn)金屬條帶、左接地線(xiàn)金屬條帶、右接地線(xiàn)金屬條帶和金屬膜橋。左右接地線(xiàn)金屬條帶和信號(hào)線(xiàn)金屬條帶都位于介質(zhì)襯底的上表面，金屬膜橋連接信號(hào)線(xiàn)兩側(cè)的左右兩接地線(xiàn)金屬條帶，呈拱形懸空覆蓋在信號(hào)線(xiàn)金屬條帶上方，共同構(gòu)成了倒置微帶傳輸線(xiàn)的金屬接地面。該倒置微帶傳輸線(xiàn)采用微機(jī)械加工技術(shù)集成制造，先用掩膜電鍍方法在介質(zhì)襯底上制備信號(hào)線(xiàn)金屬條帶和接地線(xiàn)金屬條帶，然后借助犧牲層工藝構(gòu)造連接兩側(cè)接地線(xiàn)金屬條帶并懸空覆蓋信號(hào)線(xiàn)的金屬膜橋，得到倒置微帶傳輸線(xiàn)。本方法倒置微帶傳輸線(xiàn)無(wú)輻射損耗、寬阻、低損耗。
