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【專利號(hào)(申請(qǐng)?zhí)?】200410052859.3
【公開(kāi)(公告)號(hào)】CN1587993
【申請(qǐng)人(專利權(quán))】上海交通大學(xué)
【申請(qǐng)日期】2004-7-15 0:00:00
【公開(kāi)(公告)日】2005-3-2 0:00:00
一種布拉格光柵氫氣傳感器及其制備工藝，用于自動(dòng)控制技術(shù)領(lǐng)域。布拉格光柵氫氣傳感器中，鈀膜依附于襯底鎳薄膜形成雙層膜結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)一端固定于Cu基底上，另一端懸空形成懸臂梁，寫(xiě)有布拉格光柵的光纖探頭貼于懸臂梁懸空端部，纖尾則作為接口。制備工藝：在單晶硅基片通過(guò)Cr/Cu打底；電鍍Cu膜；磁控濺射氫敏感膜；涂光刻膠，光刻；電鍍金屬Ni膜并去除光刻膠；以鎳膜為掩膜干法刻蝕金屬鈀；以鎳膜為掩膜濕法刻蝕銅膜；選定布拉格波長(zhǎng)，并通過(guò)準(zhǔn)分子激光寫(xiě)入法，制作布拉格光纖光柵；將端部寫(xiě)有布拉格光柵的光纖探頭粘貼在微懸臂梁上，光纖另一端纖尾則為接口。本發(fā)明提高了光柵的軸向驅(qū)動(dòng)力，解決了為提高敏感性而增加膜厚所帶來(lái)的易破壞等問(wèn)題。
