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【專(zhuān)利號(hào)(申請(qǐng)?zhí)?】01816765.9
【公開(kāi)(公告)號(hào)】CN1529903
【申請(qǐng)人(專(zhuān)利權(quán))】先進(jìn)微裝置公司
【申請(qǐng)日期】2001-6-4 0:00:00
【公開(kāi)(公告)日】2004-9-15 0:00:00
本發(fā)明提供一種用于半導(dǎo)體晶片(66)的電鍍系統(tǒng)(50)，該系統(tǒng)包含通過(guò)循環(huán)系統(tǒng)(52、56、58)連接至電鍍?nèi)芤簝?chǔ)存槽(60)的電鍍腔體(52)。該半導(dǎo)體晶片(66)和惰性主陽(yáng)極(64)用于陰極并在電鍍腔體(52)中。在電鍍?nèi)芤簝?chǔ)存槽(60)內(nèi)的可消耗式遠(yuǎn)程次陽(yáng)極(75)提供用于電鍍的金屬離子。
