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【專利號(hào)(申請(qǐng)?zhí)?】02157778.1
【公開(kāi)(公告)號(hào)】CN1424245
【申請(qǐng)人(專利權(quán))】上海交通大學(xué)
【申請(qǐng)日期】2002-12-26 0:00:00
【公開(kāi)(公告)日】2003-6-18 0:00:00
一種基于吸氫合金薄膜的電化學(xué)微驅(qū)動(dòng)器及其制備方法，由貯氫合金薄膜與性質(zhì)穩(wěn)定的襯底薄膜構(gòu)成雙金屬膜疊層結(jié)構(gòu)，雙金屬膜結(jié)構(gòu)電極的一部分固定附著在基座上，其余懸空，構(gòu)成能夠隨著電極反應(yīng)進(jìn)程產(chǎn)生形態(tài)變化的復(fù)合驅(qū)動(dòng)電極，驅(qū)動(dòng)電極與輔助電極構(gòu)成電極對(duì)，浸入電解液中，通過(guò)施加直流電壓(流)而操控雙金屬膜電極實(shí)現(xiàn)微驅(qū)動(dòng)。貯氫合金薄膜采用濺射或者電鍍方法沉積在襯底薄膜表面，襯底薄膜采用濺射、電鍍方法沉積，將兩種薄膜按一定順序沉積在特定基體上，然后采用犧牲層技術(shù)使局部微結(jié)構(gòu)釋放，形成復(fù)合微驅(qū)動(dòng)電極。本發(fā)明驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)電壓低，行程長(zhǎng)，驅(qū)動(dòng)力比較大，安靜而且控制方便，還具有姿態(tài)保持能力。
