卷材真空等離子處理系統(tǒng)

◆ 外形尺寸(不包括報警燈)

1903(W)×980(D)×2075(H)mm

 ◆ 倉體結(jié)構(gòu)(鋁，約800升)

600(W)×840(D)×800(H)mm

 ◆ 處理材料

材料直徑：最大400mm ，材料寬度：100mm

 ◆ 等離子發(fā)生器(美國MKS)

頻率13.56MHZ,功率0-2500W連續(xù)調(diào)節(jié),自動阻抗匹配,全電路保護(hù),可連續(xù)長時間工作

 ◆ 控制系統(tǒng)

觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動、自動兩種模式

 ◆ 真空系統(tǒng)(真空壓力PID閉環(huán)自動控制)

日本愛發(fā)科(ULVAC)機(jī)械真空泵 VDN901 (23L/S) x2臺（前級泵可選配愛德華干泵）

英國愛德華羅茨泵  EH1000(280L/S)        

臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國英福康高精度真空計、傳感器

 ◆ 充氣系統(tǒng)

美國MKS高精度電子質(zhì)量流量計(兩路氣體配制)、針閥

美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥

日本SMC及CKD高真空氣閥組件