真空等離子清洗機(jī)

◆ 外形尺寸

 570(W)×420(D)×740(H)mm

  ◆ 倉體結(jié)構(gòu)(不銹鋼，約20升)

 420(W)×270(D)×170(H)mm

  ◆ 電極面積

 250(W) ×190(D) mm,3層  

  ◆ 清洗模式

 RIE or DP模式自動(dòng)轉(zhuǎn)換

  ◆ 等離子發(fā)生器(韓國KM)

 頻率13.56MHZ,功率0-500W連續(xù)調(diào)節(jié),自動(dòng)阻抗匹配

  ◆ 控制系統(tǒng)

 觸摸屏（7寸）+PLC單步法全自動(dòng)控制 ,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件，

性能穩(wěn)定可靠,并具有手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式

  ◆ 真空系統(tǒng)

 德國萊寶(Leybold)真空泵   D30C (37m3/h)

 進(jìn)口氣動(dòng)角閥、充氣閥，德國(Inficon)壓力傳感器

  ◆ 壓力控制

 PID閉環(huán)自動(dòng)穩(wěn)壓控制

  ◆ 氣路系統(tǒng)

 2路工藝氣體+1路氮?dú)馀渲茫娮淤|(zhì)量流量計(jì)、針閥，美國飛托克(FITOK)氣體管路