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公司基本資料信息
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機(jī)型\項(xiàng)目 TG—10-12 TG—14-16 TG—20-24 TG—26-30 TG—32-36 TG—36-40 鍍膜室規(guī)格 ? 1300-1600*1500-1750mm ? 1400-1600*1600-2200mm ? 1500-1600*3500mm ? 1800-1900*3600mm ? 2000-2300*3600mm ? 2300-3000*3000-3600mm 極限真空度 ≤7.6×10-4Pa 冷態(tài)抽真空時(shí)間 從1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分鐘 機(jī)組配置 KT-600擴(kuò)散泵機(jī)組 KT-630擴(kuò)散泵機(jī)組 KT-800擴(kuò)散泵機(jī)組 2套KT-800擴(kuò)散泵機(jī)組 2套KT-1000擴(kuò)散泵機(jī)組 2套KT-1000擴(kuò)散泵機(jī)組 蒸發(fā)源配置 10 12 20 24 32 40 配電要求 60KW 80KW 120KW 160KW 180KW 230KW 廠房要求 一層總高6.5米 一層總高6.5米 一層總高6.5米 二層總高9.2米 二層總高9.5米 一層400平方米
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