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公司基本資料信息
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FOXIN-GD 超長高度多弧離子鍍膜機型號 （高度4m以上） |
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性能型號 |
GD-1840 |
GD-2340 |
GD-2540 |
GD-2345 |
GD-2548 |
GD-2265 |
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鍍膜室尺寸：mm |
Ф1800×H4000 |
Ф2300×H4000 |
Ф2500×H4000 |
Ф2300×H4500 |
Ф2500×H4800 |
Ф2200×H6500 |
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真空室結構 |
立式開門、吊裝或臥室推車結構配置抽氣系統(tǒng)及水冷系統(tǒng) |
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真空獲得系統(tǒng) |
維持泵+機械泵+羅茨泵+擴散泵或分子泵（具體型號可根據(jù)客戶的要求進行配置） |
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真空測量系統(tǒng) |
一臺皮拉尼(MKS) 一臺冷陰極(MKS) 一臺薄膜規(guī)(MKS) |
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電源類型 |
直流電源、中頻電源、脈沖電源 （偏壓電源、弧電源） |
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極限真空指標 |
空載冷態(tài) 1.0一 6.0×10-4Pa |
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電弧源 |
22臺-28臺 |
22臺-28臺 |
26臺-32臺 |
26臺-32臺 |
32臺-48臺 |
32臺-48臺 |
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200A-300A |
200A-300A |
200A-300A |
200A-300A |
200A-300A |
200A-300A |
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偏壓電源 |
60KW/1臺 |
60KW/1臺 |
70KW/1臺 |
70KW/1臺 |
80KW/1臺 |
100KW/1臺 |
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磁控電源 |
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工件轉(zhuǎn)動方式 |
多軸行星式公自轉(zhuǎn)、變頻調(diào)速（可控可調(diào)） |
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工件烘烤溫度 |
常溫-至450℃可控可調(diào)（PID溫控） |
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工藝氣體 |
3路或4路工藝氣體流量控制及顯示系統(tǒng)選配自動加氣系統(tǒng) |
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氬氣、氮氣、氧氣、乙炔等 |
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冷卻方式 |
水冷卻循環(huán)方式，另配工業(yè)冷卻水塔或工業(yè)冷水機（制冷機)或深冷系統(tǒng)。（客戶提供） |
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控制方式 |
PLC+觸摸屏操作或計算機控制，手動、半自動、自動方式、 |
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供給指標 |
氣壓0.5-0.8MPa、水溫≤25℃、水壓≥0.2MPa、 |
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報警及保護 |
對泵和靶等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警，并執(zhí)行相應保護措施及電氣聯(lián)鎖功能。 |
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整機總功率 |
165~185KW |
185~200KW |
200~225KW |
225~245KW |
245~265KW |
265~300KW |
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輸出頻率 |
電壓380V±5% ，頻率50Hz（可根據(jù)客戶國家用電標準配置） |
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設備占地面積 |
25~55m2 |
35~55m2 |
35~55m2 |
45~55m2 |
45~55m2 |
55~75m2 |
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備注 |
可根據(jù)用戶要求設計制造非標設備，可加裝磁控濺射靶、中頻孿生對靶等。 |
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