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該成果是借鑒了德國“萊寶-海拉斯”公司雙靶磁控濺射技術(shù)的思想并結(jié)合我國國情研制成功的一種新型鍍膜設(shè)備。該設(shè)備采用了甚少油污染的油擴散泵系統(tǒng)，和可提高濺射速率的熱電子發(fā)射技術(shù)及可靠的電控系統(tǒng)。該設(shè)備屬國內(nèi)首創(chuàng)。其鍍制的TiN薄膜性能良好，鍍制TiN膜層的工模具，能明顯提高使用壽命。該設(shè)備已具有一定的生產(chǎn)能力。設(shè)備經(jīng)濟實用，工作穩(wěn)定，操作維護(hù)容易，制造成本低廉，適用于工廠中等批量的產(chǎn)品生產(chǎn)。
完成單位：上海市機械制造工藝研究所
聯(lián)系電話：(021)56977377
郵政編碼：200070
成果類別：應(yīng)用技術(shù)
成果水平：國內(nèi)領(lǐng)先
限制使用：國內(nèi)
成果密級：非密
鑒定日期：19881230
應(yīng)用行業(yè)：金屬表面處理及熱處理加工
鑒定部門：上海市機械制造工藝研究所
轉(zhuǎn)讓方式：技術(shù)咨詢
分類號：TG155.5
